produkty

QPM60 - Interactive TFT Process Monitor

Jako alternatywę dla urządzeń opartych na PC, EDFelectronics oferuje niezależne urządzenie, montowane na stojaku. QPM60, wielokanałowe urządzenie do pomiaru grubości używane jest do pomiarów w procesach osadzania cienkich warstw. Ekran dotykowy zapewnia intuicyjną obsługę oraz wykresy czasowe dla szczegółowej kontroli procesów.

W wersji standardowej urządzenie wyposażone jest w 2 kanały wejściowe (do podłączenia dwóch wag kwarcowych), natomiast opcjonalnie możliwy jest zakup jednostki 6-cio kanałowej, z wysoką rozdzielczością częstotliwości pomiaru 0,01 Hz oraz z szybkością pracy (próbkowania) aż 10 pomiarów na sekundę. 6 analogowych wejść pozwala na zapis szybkości osadzania i grubości warstw, jak również może być przypisana do ręcznego sterowania mocą każdej jednostki osadzania.

Kanały na wagę kwarcową mogą być wykorzystane dla różnych materiałów i konfigurowane jako podwójne wagi kwarcowe lub uśredniające wynik. 4 wyjścia przekaźnikowe pozwalają QPM60 na sterowanie źródłem naparowywania oraz jego przysłonami, czasami blokady, nastawieniami grubości oraz sygnałem uszkodzenia kryształu. Cyfrowe wejścia pozwalają zewnętrznym sygnałom na start/stop warstw oraz zerowanie liczników.

QPM-60
table-1.png
Wymiary obudowy [mm]: 520 x 286 x 550 – 2Ustandard
Waga: 3.5 kg
Interfejs użytkownika: 4.3” Kolorowy TFT i enkoder obrotowy
Interfejs komunikacyjny: RS232 i EthernetIP
Kanały wejścia: 2 BNC w  standardzie ( opcja 4 i 6 )*
Rozdzielczość: 0.01Hz / kanał
Grubość: 0.012 A ( gęstość = 1)
Interfejs sprzętowy: Interfejs D/A i RS232 w pełni kompatybilny z SQM160:
6 programowalnych wyjść analogowych dla szybkości naparowywania,
4 wejść cyfrowych (5V); 4 wyjść przekaźnikowych
rejestracja grubości lub kontrola mocy ( przy użyciu 4 x programowalnych wyjść BNC )
Elektryka: 95 - 240 VAC, 50-60Hz, 45VA
Standardowe wymagania: CE, RoHS

*każdy kanał wymaga zewnętrznego modelu oscylatora QM20-EO